magnescale激光尺的特點(diǎn)及運(yùn)用

激光尺度的分辨率不僅要超越納米尺度，還要超越皮尺度。符合客戶要求的分辨率的開發(fā)速度就像摩爾定律*。Laserscale 可以提供的高分辨率和穩(wěn)定性支持先進(jìn)的測(cè)量和定位控制。激光標(biāo)尺在需要高精度和高分辨率的領(lǐng)域中不可少，例如下一代半導(dǎo)體制造和相機(jī)鏡頭模具加工。此外，我們通過使用 Z 傳感器將測(cè)量目標(biāo)的范圍從 1D 擴(kuò)展到 2D，再到 3D，并開發(fā)出具有高角度精度的編碼器，從而不斷預(yù)測(cè)需求。

*摩爾定律與半導(dǎo)體芯片的集成密度相關(guān)的定律，它規(guī)定密度每隔一到兩年就會(huì)翻一番。1965 年，英特爾的創(chuàng)始人之一戈登·摩爾宣布了這一經(jīng)驗(yàn)法則。

激光尺的特點(diǎn)

• 光柵干涉尺

  由于采用了自主研發(fā)的光柵干涉儀作為檢測(cè)原理，實(shí)現(xiàn)了不受溫度、氣壓、空氣湍流影響的測(cè)量和控制。

• 全息
  標(biāo)尺

  由于標(biāo)尺以全息格式而不是繪圖格式制作，因此可以獲得具有良好線性度的輸出信號(hào)。

• 優(yōu)秀的插補(bǔ)處理技術(shù)

  使用我們的插值電路和校正技術(shù)可以獲得出色的插值精度。

應(yīng)用

• 

  超精密載物臺(tái)（真空兼容）

• 

  表面粗糙度輪廓測(cè)量?jī)x

• 

  半導(dǎo)體制造檢測(cè)設(shè)備

• 

  非接觸式精細(xì)形狀測(cè)量

• 

  異形磨床/導(dǎo)光板加工機(jī)

• 

  非球面加工機(jī)

相關(guān)產(chǎn)品介紹

• 系列

• 規(guī)格

• 類型名稱、材料

• BS系列

  最高分辨率下午 2.1 點(diǎn)
  信號(hào)波長(zhǎng)138納米
  低噪聲下午4點(diǎn)
  有效長(zhǎng)度
  低膨脹玻璃420 毫米
  蘇打玻璃960mm
  熱膨脹系數(shù)
  低膨脹玻璃-0.7× 10-6 /℃
  蘇打玻璃8× 10-6 /°C
  最大響應(yīng)速度400毫米/秒

  透射式超高分辨率
  激光標(biāo)尺

  BS78、BS65
  刻度材料：低膨脹玻璃 (BS78)
  堿板玻璃（BS65）

• BH系列

  最高分辨率下午 3.8 點(diǎn)
  信號(hào)波長(zhǎng)250 納米
  有效長(zhǎng)度640 毫米
  熱膨脹系數(shù)
  零玻璃0.1×10 -6 /°C
  無堿玻璃3.7× 10-6 /°C
  最大響應(yīng)速度1,800 毫米/秒

  反射式超高分辨率
  激光標(biāo)尺

  BH25
  刻度材料：零玻璃
  無堿玻璃

• BL系列

  最高分辨率下午 6.1 點(diǎn)
  信號(hào)波長(zhǎng)400納米
  有效長(zhǎng)度570mm
  速度
  連接 BD700 時(shí)3,000 毫米/秒
  模擬輸出5,000 mm/s
  熱膨脹系數(shù)
  零玻璃0.1×10 -6 /°C
  無堿玻璃3.7× 10-6 /°C

  反射式高速
  激光標(biāo)尺

  BL50H
  刻度材料：零玻璃
  無堿玻璃

• BL系列

  最高分辨率10納米
  信號(hào)波長(zhǎng)400納米
  有效長(zhǎng)度
  低膨脹玻璃420 毫米
  蘇打玻璃1060 毫米
  熱膨脹系數(shù)
  低膨脹玻璃-0.7× 10-6 /℃
  蘇打玻璃8× 10-6 /°C
  最大響應(yīng)速度3,000 毫米/秒

  透射式高速
  激光尺

  BL57
  刻度材料：低膨脹玻璃
  蘇打玻璃

• BH系列

  最高分辨率1.5 拉德
  信號(hào)波長(zhǎng)250 納米

  反射式超高分辨率
  激光標(biāo)尺

  BH20
  刻度材料：白板玻璃