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半導體清洗設(shè)備在線使用的ECN型化學液體加熱器介紹

發(fā)布時間:2024-03-29 點擊量:813

半導體清洗設(shè)備在線使用的ECN型化學液體加熱器介紹

用于半導體化學清洗設(shè)備的在線使用

ECN型化學液體加熱加熱器

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高純度制成
● 所有接液部件均采用 PFA
● 無雜質(zhì)洗脫
● 使用低溫加熱器時化學品不會變質(zhì)
● 即使使用堿性化學品也不會變質(zhì)

可靠性
● 最大工作壓力:0.4MPa
● 最高工作溫度:標準產(chǎn)品為80℃,特殊規(guī)格可生產(chǎn)至120℃。
● 內(nèi)置過熱報警傳感器。
● 停電等突然關(guān)機時,溫升約10℃
  。高溫下安全使用
● 內(nèi)置漏水傳感器
● 耐流量波動和沖擊

維護方便
● 采用低溫加熱器,因此使用壽命為半性,無需更換加熱器
● 非常緊湊,易于安裝安裝
● 電氣控制 有效利用現(xiàn)有設(shè)施



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