在顯示面板的生產(chǎn)線上，一塊即將完工的屏幕被送入檢測(cè)區(qū)。當(dāng)特定波長(zhǎng)的紫外光均勻照射其上，肉眼難以察覺的微觀缺陷、膜層均勻性或液晶取向狀態(tài)，會(huì)通過精密的光學(xué)響應(yīng)顯現(xiàn)出來(lái)。

同樣，在半導(dǎo)體晶圓的復(fù)雜電路中，深紫外光成為“鷹眼"，幫助識(shí)別出微米甚至納米級(jí)別的圖案缺陷、測(cè)量關(guān)鍵尺寸。這一切對(duì)光源的波長(zhǎng)精準(zhǔn)性、強(qiáng)度穩(wěn)定性和光譜純度提出了要求。

01 檢測(cè)痛點(diǎn)，精度與效率的雙重挑戰(zhàn)

現(xiàn)代顯示與半導(dǎo)體制造正邁向更精密、更高效的階段，這使檢測(cè)環(huán)節(jié)面臨嚴(yán)峻挑戰(zhàn)。宏觀上行業(yè)的技術(shù)迭代與微觀上工藝精度的演進(jìn)，共同將光源的性能推向了關(guān)鍵位置。

在顯示領(lǐng)域，隨著OLED、Mini/Micro LED及超高分辨率屏幕的普及，檢測(cè)對(duì)象從過去的單純像素點(diǎn)，擴(kuò)展到更為復(fù)雜的發(fā)光材料、精細(xì)膜層和微觀結(jié)構(gòu)。

缺陷尺寸從微米級(jí)向亞微米級(jí)發(fā)展，傳統(tǒng)的寬譜或非特定波長(zhǎng)光源已難以提供足夠的對(duì)比度和信噪比，偽影干擾、缺陷漏檢風(fēng)險(xiǎn)顯著增加。

半導(dǎo)體行業(yè)則沿著摩爾定律繼續(xù)前行。當(dāng)工藝節(jié)點(diǎn)進(jìn)入7納米、5納米甚至更小時(shí)，光刻后檢測(cè)、關(guān)鍵尺寸測(cè)量和缺陷復(fù)查對(duì)光的波長(zhǎng)提出了近乎苛刻的要求。尤其是248nm深紫外光，已成為多項(xiàng)核心檢測(cè)工藝的“標(biāo)尺"。

低強(qiáng)度或不穩(wěn)定的光源會(huì)直接導(dǎo)致測(cè)量數(shù)據(jù)波動(dòng)，使工藝窗口判斷失準(zhǔn)，造成巨大的時(shí)間和物料損失。

02 精準(zhǔn)出擊，REX-250的核心檢測(cè)優(yōu)勢(shì)

面對(duì)上述挑戰(zhàn)，朝日分光REX-250水銀光源的設(shè)計(jì)理念，便是成為高置信度檢測(cè)的“基石"。其核心優(yōu)勢(shì)并非簡(jiǎn)單的“高亮度"，而是系統(tǒng)性構(gòu)建的可控光環(huán)境。

核心波長(zhǎng)優(yōu)勢(shì)顯著：該光源特別強(qiáng)化了 248nm波段的輸出強(qiáng)度。在半導(dǎo)體檢測(cè)中，此波長(zhǎng)與許多光刻工藝及材料的光學(xué)特性高度匹配，是進(jìn)行圖案輪廓測(cè)量和缺陷識(shí)別的黃金波段。

同時(shí)，它也提供313nm、334nm、365nm、405nm、436nm等汞燈特征譜線，完整覆蓋了從深紫外到可見光藍(lán)紫端的常見檢測(cè)需求。

波長(zhǎng)選擇精準(zhǔn)高效：其核心在于可搭載多達(dá)8個(gè)獨(dú)立濾光片的快速切換系統(tǒng)。檢測(cè)工程師可以像轉(zhuǎn)換鏡頭一樣，在預(yù)設(shè)的多個(gè)特征波長(zhǎng)間瞬時(shí)切換。

例如，檢測(cè)顯示屏不同功能層時(shí)，可一鍵切換至適合激發(fā)其特定熒光或反射特性的波長(zhǎng)，實(shí)現(xiàn)“一層一光"，大幅提升缺陷辨識(shí)的針對(duì)性和效率。

光強(qiáng)與曝光控制精密：設(shè)備支持100%至5%的連續(xù)光強(qiáng)調(diào)節(jié)和高達(dá)99999.9秒的精確定時(shí)曝光。這意味著無(wú)論是需要對(duì)微弱信號(hào)進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間累積曝光的精密測(cè)量。

還是生產(chǎn)線上的高速瞬態(tài)檢測(cè)，REX-250都能提供穩(wěn)定、可重復(fù)的照明條件，確保每一次檢測(cè)都在同一“光標(biāo)準(zhǔn)"下進(jìn)行，數(shù)據(jù)可比性強(qiáng)。

03 場(chǎng)景賦能，從實(shí)驗(yàn)室到生產(chǎn)線

在具體的應(yīng)用場(chǎng)景中，這些技術(shù)優(yōu)勢(shì)轉(zhuǎn)化為實(shí)實(shí)在在的檢測(cè)效能提升。

在顯示面板檢測(cè)中，REX-250的精準(zhǔn)波長(zhǎng)可用于評(píng)估OLED有機(jī)發(fā)光材料的純度與均勻性，檢測(cè)微型LED芯片的焊接缺陷，或量化液晶盒的取向排列質(zhì)量。

其穩(wěn)定的光輸出確保了批次間檢測(cè)結(jié)果的一致性，為工藝改進(jìn)提供了可靠數(shù)據(jù)。

在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，除了前述的光刻檢測(cè)，它還可用于光掩模版的缺陷復(fù)查、硅片表面污染物的熒光檢測(cè)，以及各類薄膜厚度的光譜反射測(cè)量。

特別是其RS-232C外部控制接口，使其能夠無(wú)縫集成到自動(dòng)化檢測(cè)設(shè)備或智能產(chǎn)線中，實(shí)現(xiàn)光源開關(guān)、波長(zhǎng)切換、光強(qiáng)調(diào)節(jié)的全程程序化控制，滿足工業(yè)4.0時(shí)代的柔性生產(chǎn)和數(shù)據(jù)追溯需求。

對(duì)于研發(fā)與品控實(shí)驗(yàn)室，REX-250更像是一個(gè)“基礎(chǔ)光學(xué)平臺(tái)"。其穩(wěn)定性為建立企業(yè)內(nèi)部的光學(xué)檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)方法提供了可能，無(wú)論是新材料的光學(xué)特性表征。

還是對(duì)標(biāo)國(guó)際檢測(cè)規(guī)范，它都能提供值得信賴的光源保障。

04 專業(yè)可靠，工業(yè)級(jí)產(chǎn)品的堅(jiān)實(shí)保障

REX-250作為一款工業(yè)與科研級(jí)設(shè)備，其設(shè)計(jì)充分考慮了連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行的嚴(yán)苛要求。

它采用超高壓汞燈，雖然燈泡壽命約為1000小時(shí)（至初始照度的70%），但其采用了特殊的“免對(duì)準(zhǔn)墨盒式"更換設(shè)計(jì)。維護(hù)人員無(wú)需復(fù)雜的光路調(diào)整，即可快速完成燈泡更換，大程度減少設(shè)備停機(jī)時(shí)間。

從成本效益看，相對(duì)于激光光源等替代方案，REX-250在提供關(guān)鍵波長(zhǎng)高強(qiáng)度輸出的同時(shí)，保持了合理的購(gòu)置與維護(hù)成本，是一種經(jīng)受了市場(chǎng)驗(yàn)證的高性價(jià)比工業(yè)解決方案。

它實(shí)現(xiàn)了高1端性能與實(shí)用可靠性的平衡，是注重長(zhǎng)期穩(wěn)定生產(chǎn)和數(shù)據(jù)可靠性的企業(yè)的理性選擇。