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日本pureron微少流量超小型陶瓷氣體過(guò)濾器SPC系列 SPC系列是超小型（Φ21×84mm）、輕量（90g）設(shè)計(jì)。z適合于安裝在空間狹小的氣瓶柜等裝置的場(chǎng)合。

日本pureron高過(guò)濾精度陶瓷氣體過(guò)濾器PGFL系列 在保持本公司以往產(chǎn)品PGF系列的高過(guò)濾性能的基礎(chǔ)上，實(shí)現(xiàn)了低壓力損失。外形尺寸與以往的PGF系列*相同，處理能力達(dá)到了原來(lái)的約兩倍。

日本pureron內(nèi)置式陶瓷氣體過(guò)濾器PGF系列 在超微LSI制造工藝中，要求必須將原料氣體以高純度的狀態(tài)輸送到使用點(diǎn)。因此原料氣體的高純度化自不必言說(shuō)，管道系統(tǒng)的超凈化亦是一大重點(diǎn)。Pureron Japan 為順應(yīng)這一時(shí)代的需求，研制出了在元件中使用了陶瓷的全新過(guò)濾器，從而實(shí)現(xiàn)了具有長(zhǎng)久穩(wěn)定狀態(tài)的0.003μm的高過(guò)濾精度。

日本ace活塞探針型高精度BIOS流量計(jì) DryCal ML系列是活塞探針型高精度流量計(jì)，是各種流量計(jì)的校準(zhǔn)參考設(shè)備的理想選擇。不僅可以通過(guò)NIST進(jìn)行追溯，而且還可以在日本獲得認(rèn)證。

日本ace差壓式大流量控制器DPFC500系列 可以?測(cè)量小尺寸和大流量。在湍流中測(cè)量壓差，流路直徑小，流路長(zhǎng)度短。 對(duì)于傳統(tǒng)的熱力類(lèi)型，湍流是層流的，因此無(wú)法在大流量下實(shí)現(xiàn)小型化。 EX）500SLM：流路直徑1/2“流路直徑5”